附件
1
大企业技术创新需求榜单（公开部分，
230
项）
代码
省份
大企业名称
所属行业
需求名称
合作方式
时间要求
内容描述
1
北京市
北京沃尔德金刚石工具股份有限公司
化学、医药与材料
一种
915MHz
大面积金刚石沉积系统的研发
项目委托
18
个月
需求内容：
研发一种
915MHz
大面积金刚石沉积系统，金刚石作为重要的半导体材料，目前最先进的金刚石合成方法为微波等离子体化学气相沉积技术，工业上微波的常用频率为
915MHz
和
2.45GHz
，现有
2.45GHz
设备功率低，沉积面积一般在
2
到
3
英寸，是目前国内市场上的主流设备，而
915MHz
设备功率大，成熟程度低，国内只有少量科研设备，且沉积面积多小于
5
英寸，因此无法满足对大尺寸金刚石的需求。现需要一种
915MHz
大面积金刚石沉积系统，该系统属于《产业基础创新发展目录》中新材料中的半导体精密加工工艺与装备领域，同时也属于工业“六基”中的关键基础材料和产业技术基础领域，使用该系统可实现
6
英寸级金刚石沉积。
参数要求：
1.
基片台直径不小于
152.4
毫米，可实现
6
英寸级金刚石沉积；
2.
沉积区域温差可控制在
50
℃以内；
3.
同时兼具腔体和基片台水冷设计与基片台升降功能设计；
4.
微波功率在
10~50kW
连续可调；
5.
红外测温范围
300-1400
℃；
6.
设备软件支持远程监控功能。
需达到效果：
1.
突破技术瓶颈，达到参数指标要求；
2.
实现
6
英寸级金刚石沉积，完成样机交付
时间要求：
18
个月
拟采取的合作方式：项目委托研发
2
北京机电工程研究所
现代服务业及其他
装备试验管理数字化的研究
联合研发
6
个月
需求内容：研究一款面向装备论证，提供试验任务规划、过程管理、资源配置管理、风险评估及提供相关信息服务的管理平台。
功能参数：
1.
具备地面设备能力试验指标体系分解映射功能，能够形成“作战使命
-
任务
-
能力
/
功能
-
性能”等能力试验映射矩阵，包含不同工作模式、工作状态下的指挥控制、智能操控等链路操控性能；
2.
具备试验任务模板及图表生成功能，包括试验初案
/
总案模板编制、试验大纲模板编制、试验实施细则模板设计等；
3.
具备试验全周期策划、跟踪、管控和试验任务分配调度功能；
4.
具备根据试验策划完成具体试验科目的启动、执行、控制和结束等功能；
5.
具备对试验仪器设备、被试设备、试验设施、试验人员、试验环境等试验资源进行高效管理功能；
6.
具备灵活的新建、修改、统计、查询等试验资源的基础操作功能；
7.
具备支持各种试验数
附件1.大企业技术创新需求榜单.docx